진공펌프

창조적 정신과 끊임없는 기술개발 동양진공기술

DPF-22ZQ

성능, 사양표(PERFORMANCE & SPECIFICATION)

Item DPF-22ZQ
Pumping Speed With baffle ℓ / sec 5400
Without baffle 12800
Ultimate vacuum Torr(Pa)

X 10-7( X 10-5 )

Max, allowablefore pressure Torr(Pa) 4.5 X 10-1( 60 )
Oil back streamrate With baffle(Chevron type) mg/㎠ min X 10-5
Oil   DC 704
Oil capacity 4000
Electric power V / Φ 220/380/3
Heater power W 6000
Warm-up time min 30
Cooling water flow ℓ / min ( at 20℃ ) 7
Weight Kg 167
Inlet size   VG550
Outlet size   VG150

특징(Features)

• 뛰어난 배기속도
• Low Oilback stream
• High Fore-Vaccum Pressure
• 헬륨 누설 탐지기에 의한 정밀한 누설검사
• 분류법에 의한 Jet의 설계로 Oil의 오염을 제거
• Baffle의 장착으로 Backing System Oil 손실을 방지
• 22Z 이상은 주문생산 되고 있습니다